[发明专利]特种工件辅助镀膜的自动控制方法有效
| 申请号： | 202010321987.2 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111501006B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 姜翠宁;徐从高 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种特种工件辅助镀膜的自动控制方法，包括如下步骤：四工位平移升降装置反向接收两待静放工件、以及两待翻转工件；四工位平移升降装置上层将两待静放工件及其基片架正向输出至真空镀膜设备的静放室进行静放；四工位平移升降装置通过上层接收两第一基片架；对四工位平移升降装置下层的待翻转工件分别进行180°翻面，并将翻面后工件分别放置于四工位平移升降装置上层的第一基片架；四工位平移升降装置上层将两翻面后工件及第一基片架正向输出至真空镀膜设备的工艺室进行正镀膜。本发明实施例，通过辅助镀膜的自动控制方法，至少可实现工件四出、二进、及自动更换基片架的功能，可实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 特种 工件 辅助 镀膜 自动控制 方法 | ||
【主权项】：
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