[发明专利]特种工件辅助镀膜的自动控制方法

说明书

本发明实施例公开了一种特种工件辅助镀膜的自动控制方法，包括如下步骤：四工位平移升降装置反向接收两待静放工件、以及两待翻转工件；四工位平移升降装置上层将两待静放工件及其基片架正向输出至真空镀膜设备的静放室进行静放；四工位平移升降装置通过上层接收两第一基片架；对四工位平移升降装置下层的待翻转工件分别进行180°翻面，并将翻面后工件分别放置于四工位平移升降装置上层的第一基片架；四工位平移升降装置上层将两翻面后工件及第一基片架正向输出至真空镀膜设备的工艺室进行正镀膜。本发明实施例，通过辅助镀膜的自动控制方法，至少可实现工件四出、二进、及自动更换基片架的功能，可实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。

技术领域

本发明涉及一种自动控制技术，尤其是一种在真空环境下对工件正反面全自动化镀膜的自动控制方法。

背景技术：

随着科技的进步，对材料的加工处理技术，尤其是表面镀膜技术的要求也越来越高，而国内外的常规镀膜设备的控制方法，其自动化程度较低，且在镀膜过程中存在温升高造成工件表面变形的缺陷。

发明内容：

为克服现有镀膜设备的控制方法自动化程度较低的问题，本发明实施例提供了一种特种工件镀膜方法。

一种特种工件辅助镀膜的自动控制方法，至少包括如下步骤：

四工位平移升降装置反向接收放置于基片架上的两待静放工件、以及两待翻转工件；其中，两待静放工件为反镀膜后需反静放的工件、或者为正镀膜后需正静放的工件，两反镀膜后需反静放的工件分别放置于第二基片架，两正镀膜后需正静放的工件分别放置于第一基片架；两待静放工件及其基片架从真空镀膜设备的工艺室反向输出至四工位平移升降装置上层；两待翻转工件为反静放后需翻转正镀膜的工件，其分别放置于第二基片架上；两待翻转工件及其基片架从真空镀膜设备的静放室反向输出至四工位平移升降装置下层；

四工位平移升降装置上层将两待静放工件及其基片架正向输出至真空镀膜设备的静放室进行反静放、或正静放；

四工位平移升降装置远离真空镀膜设备并移动至指定位置通过上层接收两第一基片架；

对四工位平移升降装置下层的待翻转工件分别进行180°翻面，并将翻面后工件分别放置于四工位平移升降装置上层的第一基片架；

四工位平移升降装置上层将两翻面后工件及第一基片架正向输出至真空镀膜设备的工艺室进行正镀膜。

本发明实施例，通过辅助镀膜的自动控制方法，至少可实现工件四出、二进、及自动更换基片架的功能，可实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。

附图说明：

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的特种工件镀膜设备及辅助设备的示例性布局示意图；

图2为本发明实施例的特种工件镀膜控制系统的示例性原理框图；

图3为本发明实施例的90°翻转装置的结构示意图；

图4为本发明实施例的180°翻转装置的结构示意图；

图5为本发明实施例的自动抓取移载装置在组合工位与180°翻转装置间来回移动的结构示意图；

图6为图5的左视局部示意图；

图7为本发明实施例的自动抓取移载装置的抓取平台与夹具的安装结构示意图；

图8为本发明实施例的四工位平移升降装置的结构示意图；