[发明专利]一种MEMS结构的制造方法有效
| 申请号： | 202010317031.5 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111453691B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构的制造方法，包括：在衬底的正面上方形成压电复合振动层；蚀刻所述衬底的背面直至到达所述压电复合振动层，其中，所述衬底包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体间隔设置的第一内环体，所述外环体和所述第一内环体之间以及所述第一内环体内侧具有空腔；蚀刻分割所述压电复合振动层，使所述压电复合振动层包括与所述第一内环体连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。本申请提供的MEMS结构的制造方法工艺简易，并且降低了压电复合振动层的膜片翘曲的几率，提高了成品率和器件的稳定性，有效地提高了灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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