[发明专利]探针和太阳能电池单元用测量装置在审
| 申请号： | 202010304414.9 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN112017982A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 小岛久嗣;中道裕二 | 申请（专利权）人： | 共进电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供探针，该探针能够改善太阳能电池单元的输出测量的再现性和耐久性，用于太阳能电池单元的电气特性的测量的探针(3)包括：在厚度方向层叠的多个薄板件(3A)；以及将所述多个薄板件(3A)从外侧沿厚度方向夹持的一对盖体(3B)，所述薄板件(3A)包括：长条薄板状的主体部(31)；多个接触件(32)，是在所述主体部(31)的长边方向具有规定宽度的薄板，以宽度方向与所述主体部(31)的长边方向一致的方式排列设置；以及弹簧要素(33)，由细线形成，并且分别将所述主体部(31)与所述多个接触件(32)之间连接，所述一对盖体(3B)具备一对倒伏限制部(36)，将所述接触件(32)相对于厚度方向夹持，用以限制该接触件(32)的倒伏。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 太阳能电池 单元 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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