[发明专利]一种光学芯片表面沾污缺陷检测方法及线激光视觉检测系统有效
| 申请号： | 202010285930.1 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111707614B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 舒淑保;姜一平 | 申请（专利权）人： | 深圳市正宇兴电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/892 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 钟斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光学芯片表面沾污缺陷检测方法，采集待检测芯片的表面图像，对预处理得到的图像进行缺陷提取，计算提取的芯片表面图像样本的缺陷特征值；对已知缺陷所属类别的芯片表面图像进行处理，得到芯片表面样本的缺陷特征值，并利用所述芯片样本的缺陷所属的类别的缺陷特征值行处理，得到已知缺陷所属类别的芯片表面缺陷特征值；然后利用数字图像处理算法得到待检测芯片的缺陷特征值，得到所述待检测芯片的缺陷所属的类别。一种线激光视觉检测系统，包括：线激光扫描相机，数据采集卡，FPGA图像处理模块，HALCON数字图像处理模块；FPGA图像处理模块得到芯片表面缺陷特征值，HALCON数字图像处理模块得到所述待检测芯片的缺陷特征值所属的类别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 芯片 表面 沾污 缺陷 检测 方法 激光 视觉 系统 | ||
【主权项】：
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