[发明专利]制备高纯度α-氮化硅粉的方法及高纯度α-氮化硅粉有效

专利信息
申请号: 202010282836.0 申请日: 2020-04-08
公开(公告)号: CN113493191B 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 张耀华;王思嘉;李小东;马海安;宗鑫;张吉武;黄彬 申请(专利权)人: 新疆晶硕新材料有限公司
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;张萍
地址: 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新技术开发区*** 国省代码: 新疆;65
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摘要: 发明提供一种制备高纯度α‑氮化硅粉的方法及高纯度α‑氮化硅粉,所述方法包括:在粒径为100微米以下级别的细硅粉中加入催化剂,所述催化剂能在制备氮化硅粉的反应条件下以可逆反应生成金属合化物,并使得具有金属卤化物存在;将加入了催化剂的细硅粉置于氮化炉中,在氮气和氩气的混合气氛下,于温度为1050℃‑1400℃的条件下保温50‑180小时,以发生氮化反应得到氮化硅粉。本发明所述的方法,通过以可逆反应形成可挥发金属卤化物的催化剂在粉末颗粒表面间往返输运,在多个位点反复起催化作用,以较少金属杂质充分催化表面反应的特殊效果,保障了产品的纯度,并提高了产物的α相含量,满足了高纯氮化硅粉的要求。
搜索关键词: 制备 纯度 氮化 方法
【主权项】:
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