[发明专利]一种用于PVD加工的螺旋式挂具在审
| 申请号: | 202010274298.0 | 申请日: | 2020-04-09 |
| 公开(公告)号: | CN111411341A | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
| 发明(设计)人: | 林荣川 | 申请(专利权)人: | 集美大学 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
| 地址: | 361021 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种用于PVD加工的螺旋式挂具,涉及真空镀膜辅助设备技术领域,包括底座,所述底座的顶部固定连接有第一固定座,所述第一固定座的顶部固定连接有第一内螺纹套筒,所述第一内螺纹套筒的顶端螺纹连接有第一支撑柱,所述第一支撑柱的外侧固定连接有第一螺旋支撑杆,所述第一支撑柱的顶端螺纹连接有第二固定座,用于PVD加工的螺旋式挂具,能够适应PVD软管的同时还能够适应不同类型的PVD产品,从而在对其他类型的产品进行镀膜时,无需更换其他挂具,适用性较高,能够将第一支撑柱与第二支撑柱之间的固定解除,从而对挂具进行拆卸,方便对软管长度较小的产品镀膜,避免对挂具镀膜,防止造成不必要的浪费。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 pvd 加工 螺旋式 | ||
【主权项】:
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