[发明专利]一种用于PVD加工的螺旋式挂具在审

专利信息
申请号: 202010274298.0 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN111411341A 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 林荣川 申请(专利权)人: 集美大学
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 代理人: 王新爱
地址: 361021 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种用于PVD加工的螺旋式挂具,涉及真空镀膜辅助设备技术领域,包括底座,所述底座的顶部固定连接有第一固定座,所述第一固定座的顶部固定连接有第一内螺纹套筒,所述第一内螺纹套筒的顶端螺纹连接有第一支撑柱,所述第一支撑柱的外侧固定连接有第一螺旋支撑杆,所述第一支撑柱的顶端螺纹连接有第二固定座,用于PVD加工的螺旋式挂具,能够适应PVD软管的同时还能够适应不同类型的PVD产品,从而在对其他类型的产品进行镀膜时,无需更换其他挂具,适用性较高,能够将第一支撑柱与第二支撑柱之间的固定解除,从而对挂具进行拆卸,方便对软管长度较小的产品镀膜,避免对挂具镀膜,防止造成不必要的浪费。
搜索关键词: 一种 用于 pvd 加工 螺旋式
【主权项】:
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