[发明专利]一种用于PVD加工的螺旋式挂具

说明书

本发明公开了一种用于PVD加工的螺旋式挂具，涉及真空镀膜辅助设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有第一固定座，所述第一固定座的顶部固定连接有第一内螺纹套筒，所述第一内螺纹套筒的顶端螺纹连接有第一支撑柱，所述第一支撑柱的外侧固定连接有第一螺旋支撑杆，所述第一支撑柱的顶端螺纹连接有第二固定座，用于PVD加工的螺旋式挂具，能够适应PVD软管的同时还能够适应不同类型的PVD产品，从而在对其他类型的产品进行镀膜时，无需更换其他挂具，适用性较高，能够将第一支撑柱与第二支撑柱之间的固定解除，从而对挂具进行拆卸，方便对软管长度较小的产品镀膜，避免对挂具镀膜，防止造成不必要的浪费。

技术领域

本发明涉及真空镀膜辅助设备技术领域，具体为一种用于PVD加工的螺旋式挂具。

背景技术

PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜，目前，镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域。现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法为主，其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上，送入镀膜机进行加热及抽真空。在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后，加热薄膜材料，以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，并由蒸发源穿越空间，抵达待镀膜工件表面，在表面上沉积而逐渐形成薄膜。在中国已授权专利申请公开说明书CN209890730U中公开的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，该专利主要包括主杆、支杆及托架，所述托架为螺旋形结构，所述主杆为竖直设置的直杆，主杆上设置有至少一组支杆，每组支杆包括上支杆和下支杆，且所述上支杆和下支杆分别固定在主杆的上下端部；上支杆和下支杆的一端与主杆固定连接，另一端通过锁套分别与所述托架的两端连接，可以将待处理的软管类产品套接在托架外，通过卡簧固定软管类产品的上下端部，从而完成表面处理，可有效提升设备的利用率，但是，实际中由于PVD产品的种类不同，这种方式只能适用于软管类产品，需要对其他PVD产品进行镀膜时，只能更换挂具，适用性较差，较为浪费生产成本，且大多数挂具为固定式结构，不便进行拆卸，当软管总长度小于挂具周长时，易对挂具镀膜，造成不必要的浪费。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于PVD加工的螺旋式挂具，解决了上述背景技术中提出的现有的用于PVD加工的螺旋式挂具适用性较差和不便进行拆卸的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种用于PVD加工的螺旋式挂具，包括底座，所述底座的顶部固定连接有第一固定座，所述第一固定座的顶部固定连接有第一内螺纹套筒，所述第一内螺纹套筒的顶端螺纹连接有第一支撑柱，所述第一支撑柱的外侧固定连接有第一螺旋支撑杆，所述第一支撑柱的顶端螺纹连接有第二固定座，所述第二固定座的顶部固定连接有第二内螺纹套筒，所述第二内螺纹套筒的顶端螺纹连接有第二支撑柱，所述第二支撑柱的顶端固定连接有固定帽，所述第二支撑柱的外侧固定连接有第二螺旋支撑杆，所述第二螺旋支撑杆的底端有连接管，所述第二螺旋支撑杆的外侧螺纹连接有固定柱，所述固定柱的一端固定连接有连接板，所述连接板的顶部固定连接有固定板，所述固定板的底部一侧固定连接有挂板，所述挂板的一侧底部开设有挂槽，所述第一支撑柱的底端固定连接有第一外螺纹柱，所述第一支撑柱的顶端固定连接有第二外螺纹柱，所述第二支撑柱的底端固定连接有底外螺纹柱

进一步的，所述第二固定座的底部开设有内螺纹孔，所述内螺纹孔与第二外螺纹柱相适配。

进一步的，所述第一外螺纹柱位于第一内螺纹套筒的内部，所述第一内螺纹套筒与第一外螺纹柱相适配。

进一步的，所述第二螺旋支撑杆一端通过连接管与第一螺旋支撑杆固定连接。

进一步的，所述第一螺旋支撑杆与第二螺旋支撑杆的外侧均螺纹连接有固定柱。

进一步的，所述第一支撑柱的半径与第二支撑柱的半径大小相等，所述第一支撑柱的高度大于第二支撑柱的高度。