[发明专利]一种用于PVD加工的螺旋式挂具在审

申请号：	202010274298.0	申请日：	2020-04-09
公开（公告）号：	CN111411341A	公开（公告）日：	2020-07-14
发明（设计）人：	林荣川	申请（专利权）人：	集美大学
主分类号：	C23C14/50	分类号：	C23C14/50
代理公司：	北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638	代理人：	王新爱
地址：	361021 福***	国省代码：	福建;35
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摘要：
搜索关键词：	一种用于 pvd 加工螺旋式
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【权利要求书】：

1.一种用于PVD加工的螺旋式挂具，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定连接有第一固定座(2)，所述第一固定座(2)的顶部固定连接有第一内螺纹套筒(3)，所述第一内螺纹套筒(3)的顶端螺纹连接有第一支撑柱(4)，所述第一支撑柱(4)的外侧固定连接有第一螺旋支撑杆(5)，所述第一支撑柱(4)的顶端螺纹连接有第二固定座(6)，所述第二固定座(6)的顶部固定连接有第二内螺纹套筒(7)，所述第二内螺纹套筒(7)的顶端螺纹连接有第二支撑柱(8)，所述第二支撑柱(8)的顶端固定连接有固定帽(9)，所述第二支撑柱(8)的外侧固定连接有第二螺旋支撑杆(10)，所述第二螺旋支撑杆(10)的底端有连接管(11)，所述第二螺旋支撑杆(10)的外侧螺纹连接有固定柱(12)，所述固定柱(12)的一端固定连接有连接板(13)，所述连接板(13)的顶部固定连接有固定板(14)，所述固定板(14)的底部一侧固定连接有挂板(15)，所述挂板(15)的一侧底部开设有挂槽(16)，所述第一支撑柱(4)的底端固定连接有第一外螺纹柱(17)，所述第一支撑柱(4)的顶端固定连接有第二外螺纹柱(18)，所述第二支撑柱(8)的底端固定连接有底外螺纹柱(19)。

2.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，其特征在于，

所述第二固定座(6)的底部开设有内螺纹孔(21)，所述内螺纹孔(21)与第二外螺纹柱(18)相适配。

3.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，其特征在于，

所述第一外螺纹柱(17)位于第一内螺纹套筒(3)的内部，所述第一内螺纹套筒(3)与第一外螺纹柱(17)相适配。

4.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，其特征在于，

所述第二螺旋支撑杆(10)一端通过连接管(11)与第一螺旋支撑杆(5)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，其特征在于，

所述第一螺旋支撑杆(5)与第二螺旋支撑杆(10)的外侧均螺纹连接有固定柱(12)。

6.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，其特征在于，

所述第一支撑柱(4)的半径与第二支撑柱(8)的半径大小相等，所述第一支撑柱(4)的高度大于第二支撑柱(8)的高度。

7.根据权利要求1所述的一种用于PVD加工的螺旋式挂具，其特征在于，

所述固定帽(9)的一侧开设有插入孔(20)，所述第二螺旋支撑杆(10)的一端与插入孔(20)相适配。