[发明专利]一种功率器件电学闩锁测试系统在审
| 申请号: | 202010264324.1 | 申请日: | 2020-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN111551837A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
| 发明(设计)人: | 倪涛;曾传滨;王娟娟;孙佳星;韩郑生;罗家俊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/28 |
| 代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种功率器件电学闩锁测试系统,包括:脉冲发生段传输线,特征阻抗为5Ω;终端极化装置,特征阻抗为5Ω,与脉冲发生段传输线的连接;脉冲调制段传输线,特征阻抗为5Ω,脉冲调制段传输线与脉冲发生段传输线连接;同轴水银继电器,串联在脉冲发生段传输线和脉冲调制段传输线之间;负载测试装置,负载测试装置与脉冲调制段传输线连接;示波器,与脉冲发生段传输线和负载测试装置连接;控制主机,与示波器和同轴水银继电器连接;高压直流电源,与脉冲发生段传输线和控制主机连接,高压直流电源可输出5000V电压。本发明可以提高电学闩锁测试系统的测试能力,从而满足功率器件电学闩锁测试需求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 功率 器件 电学 测试 系统 | ||
【主权项】:
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