[发明专利]一种功率器件电学闩锁测试系统在审
| 申请号: | 202010264324.1 | 申请日: | 2020-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN111551837A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
| 发明(设计)人: | 倪涛;曾传滨;王娟娟;孙佳星;韩郑生;罗家俊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/28 |
| 代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 功率 器件 电学 测试 系统 | ||
1.一种功率器件电学闩锁测试系统,其特征在于,包括:
脉冲发生段传输线,所述脉冲发生段传输线的特征阻抗为5Ω;
终端极化装置,与所述脉冲发生段传输线的第一端连接,所述终端极化装置的特征阻抗为5Ω;
脉冲调制段传输线,所述脉冲调制段传输线的第一端与所述脉冲发生段传输线的第二端连接,所述脉冲调制段传输线的特征阻抗为5Ω;
同轴水银继电器,串联在所述脉冲发生段传输线和所述脉冲调制段传输线之间;
负载测试装置,所述负载测试装置的第一端与所述脉冲调制段传输线的第二端连接,所述负载测试装置用于连接并固定被测器件;
示波器,与所述脉冲发生段传输线的第二端连接,同时与所述负载测试装置的第二端连接;
控制主机,与所述示波器和所述同轴水银继电器连接;
高压直流电源,与所述脉冲发生段传输线的第二端、以及所述控制主机连接,所述高压直流电源可输出5000V电压。
2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述脉冲发生段传输线,包括:
10路子传输线,所述10路子传输线并联,每路子传输线的特征阻抗均为50Ω。
3.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述终端极化装置,包括:
金属外壳,所述金属外壳接地;
10个极化器,位于所述金属外壳内部,且与所述10路子传输线一一对应连接;
其中,所述极化器包括串联的终端匹配电阻和二极管,所述终端匹配电阻和所述二极管的寄生阻值之和为50Ω,所述二极管具备5000V反向抗压能力。
4.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述二极管的数量为5只,依次串联,所述二极管选用1200V耐压的低寄生碳化硅或肖特基二极管。
5.如权利要求3所述的系统,其特征在于,每个所述极化器对应有一脉冲发生段传输线IO端口,与对应的子传输线连接;其中,所述脉冲发生段传输线IO端口采用高压同轴连接器,其耐压能力大于5000V。
6.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统还包括:
数据采集卡,串联在所述控制主机和所述同轴水银继电器之间,用于在所述控制主机的控制下发送开关信号,所述开关信号用于控制所述同轴水银继电器的开关,且开关时间小于3ms;
信号放大器,串联在所述同轴水银继电器和所述数据采集卡之间,用于对所述开关信号进行放大。
7.如权利要求6所述的系统,其特征在于,所述系统还包括:
低压直流电源,与所述信号放大器连接、以及所述控制主机连接。
8.如权利要求1所述的系统,其特征在于,在所述高压直流电源和所述脉冲发生段传输线之间串联有安全限流电阻。
9.如权利要求1所述的系统,其特征在于,在所述示波器和所述脉冲发生段传输线之间串联有第一衰减器,在所述示波器和所述负载测试装置之间串联有第二衰减器。
10.如权利要求1~9任一所述的系统,其特征在于,在所述同轴水银继电器和所述脉冲调制段传输线之间串联有上升沿调节滤波器。
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