[发明专利]一种结构致密的硅溶胶及其制备方法有效
| 申请号： | 202010264210.7 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111470509B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 朱斌;仵靖 | 申请（专利权）人： | 石家庄优士科电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/141 | 分类号： | C01B33/141;C01B33/146;B82Y30/00;C09K3/14 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 墨伟 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市高*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体公开一种结构致密的硅溶胶及其制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：将烷氧基硅烷滴加到含有碱催化剂、水及有机溶剂的混合液中，得到第一硅溶胶；用纯水稀释，加热至沸腾，回流反应，溶剂置换得到第二硅溶胶；滴加烷氧基硅烷，得到第三硅溶胶；保温反应，浓缩，溶剂置换得到硅溶胶。本发明提供的结构致密的硅溶胶的制备方法，生产效率高，所得的硅溶胶二氧化硅一次固含为10％以上，金属离子含量1ppm，且二氧化硅颗粒真密度ρ2.0g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 结构 致密 硅溶胶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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