[发明专利]一种磁性靶材厚度均匀性控制方法有效
| 申请号： | 202010258893.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111375998B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;吴铭乐 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁性靶材厚度均匀性控制方法，所述方法通过在焊接之前将磁性靶材主体磨削至需要厚度，避免了焊接整形后车削导致的靶材厚度不均以及平面度低等问题，在磨削过程中可使磁性靶材主体厚度磨削到位，无需进行过多重复校正，磁性靶材主体的厚度均匀性、平面度得到保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 厚度 均匀 控制 方法 | ||
【主权项】：
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