[发明专利]一种宽带可调谐完美吸收器的制备方法及完美吸收器在审
| 申请号： | 202010245240.3 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111403922A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 魏涛;刘波;李宛飞;凌云;胡敬;程淼;刘倩倩;陈兴旺 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学 |
| 主分类号： | H01Q17/00 | 分类号： | H01Q17/00;H01L23/58;H01L23/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王玉仙 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽带可调谐完美吸收器的制备方法及完美吸收器，该方法包括：S1、在基片上沉积第一层相变薄膜；S2、在第一层相变薄膜上沉积一层透明介质薄膜；S3、在透明介质薄膜上沉积第二层相变薄膜；S4、在第二层相变薄膜上放置一层阳极氧化铝纳米结构模板；S5、在阳极氧化铝纳米结构模板上沉积一层金属薄膜；S6、移除阳极氧化铝纳米结构模板；S7、刻蚀第二层相变薄膜；S8、移除金属薄膜，得到完美吸收器。本发明通过利用相变材料的晶态和非晶态显著光学对比度对完美吸收器的吸收特性进行调节，拓展了器件的功能；采用全介质结构设计，避免了金属结构容易腐蚀的缺点，拓展了器件的应用范围；同时可实现300～800nm波段的完美吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 调谐 完美 吸收 制备 方法 | ||
【主权项】：
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