[发明专利]真空干燥器在审
| 申请号： | 202010226950.1 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111752107A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 李廷煜;权姸珠;金道玹;金正洙;朴嘉熙;宋河俊;李度润;任训贤 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;F26B5/04;F26B9/10;F26B23/04;F26B25/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种真空干燥器。该真空干燥器包括配置成提供内部空间的腔室、在内部空间中靠近腔室的底部的支承销、配置成向支承销供应电力的电源以及联接到腔室中的内部空间的泵。 | ||
| 搜索关键词： | 真空干燥器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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