[发明专利]真空干燥器

说明书

本申请涉及一种真空干燥器。该真空干燥器包括配置成提供内部空间的腔室、在内部空间中靠近腔室的底部的支承销、配置成向支承销供应电力的电源以及联接到腔室中的内部空间的泵。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年3月28日提交的第10-2019-0036164号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用以其整体并入本文中。

技术领域

本公开的各种实施方式涉及真空干燥器。

背景技术

显示装置包括形成在衬底上的线、联接到所述线的晶体管以及配置成响应于从晶体管提供的电流而发光的发光元件。

可以通过光刻技术在衬底上形成用于形成线、晶体管和发光元件的多种图案(和/或绝缘层)。例如，可以通过包括以下步骤的工艺在衬底上形成图案：将光刻胶施加到衬底，通过干燥器干燥已施加光刻胶的衬底，以及通过图案曝光处理、显影处理、热处理等加工衬底。

在执行施加光刻胶的操作之后立即形成的光刻胶层可能具有流动性。因此，在用于后续工艺的转移工艺期间，光刻胶层的厚度可能改变。因此，为了防止光刻胶层的厚度改变，可以对其上具有光刻胶层的衬底执行干燥处理。

干燥器可以包括腔室和设置在腔室底部上的支承销。衬底可以由支承销支承。干燥器可以通过对腔室的内部空间进行减压来干燥衬底。

光刻胶在衬底的与每个支承销对应的区域(或支承销的位置)中的厚度可以不同于光刻胶在其它区域中的厚度。由于厚度上的差异，可能导致光刻胶具有不均匀的干燥斑点，这可能在显示装置的显示图像上表现为显示斑点。

为了防止因支承销而出现斑点，支承销可以设置在衬底的、不在其中显示图像的非显示区域中。然而，由于显示装置具有多种不同尺寸，因此可能需要另外的努力和时间来改变支承销的位置，并且可能产生另外的缺陷(例如，因在附接或拆卸支承销的过程期间形成的颗粒而产生的缺陷)。

发明内容

本公开的各种实施方式涉及能够形成具有均匀或基本上均匀的厚度的光刻胶层的真空干燥器。

根据本公开的实施方式，真空干燥器包括配置成提供内部空间的腔室、在内部空间中靠近腔室的底部的支承销、配置成向支承销供应电力的电源以及联接到腔室中的内部空间的泵。

在实施方式中，真空干燥器可以包括在内部空间中被干燥的衬底，并且支承销可以直接支承衬底。

在实施方式中，真空干燥器包括在衬底上的光刻胶，并且光刻胶可以包括具有极性的溶剂。

在实施方式中，电力的电压电平可以是基于溶剂的极性的大小的，并且电力的电压电平可以配置成随着溶剂的极性增加而减小。

在实施方式中，衬底的与支承销中的一个接触的接触部分的温度可以高于衬底的与支承销间隔开的非接触部分的温度。

在实施方式中，支承销中的每个可以具有圆柱形状、半球形状、锥形形状和针形状中的任何一种形状。

在实施方式中，支承销中的每个可以包括芯和配置成包围芯的壳。芯可以包括导电材料，并且壳可以包括绝缘材料。

在实施方式中，支承销的热导率可以是0.3W/mK或更小。

在实施方式中，电力的电压电平可以是基于热导率的，并且电力的电压电平可以配置成随着热导率的增加而增加。

在实施方式中，电源可以包括电力生成电路和开关电路，其中，电力生成电路配置成生成电力，开关电路配置成响应于第一控制信号将电力生成电路的输出端子联接到支承销。

在实施方式中，开关电路可以配置成响应于第二控制信号将支承销联接到地。