[发明专利]真空干燥器

权利要求书

1.真空干燥器，包括：

腔室，配置成提供内部空间；

支承销，在所述内部空间中靠近所述腔室的底部；

电源，配置成向所述支承销供应电力；以及

泵，联接到所述腔室中的所述内部空间。

2.根据权利要求1所述的真空干燥器，还包括：

衬底，在所述内部空间中被干燥，其中，所述支承销直接支承所述衬底；以及

光刻胶，在所述衬底上，其中，所述光刻胶包括具有极性的溶剂。

3.根据权利要求2所述的真空干燥器，其中，所述电力的电压电平是基于所述溶剂的所述极性的大小的，以及

其中，所述电力的所述电压电平配置成随着所述溶剂的所述极性的增加而降低。

4.根据权利要求2所述的真空干燥器，其中，所述衬底的与所述支承销中的一个接触的接触部分的温度高于所述衬底的与所述支承销中的每个间隔开的非接触部分的温度。

5.根据权利要求1所述的真空干燥器，其中，所述支承销中的每个具有圆柱形状、半球形状、锥形形状和针形状中的一种形状。

6.根据权利要求1所述的真空干燥器，其中，所述支承销中的每个包括芯和配置成包围所述芯的壳，

其中，所述芯包括导电材料，以及

其中，所述壳包括绝缘材料。

7.根据权利要求6所述的真空干燥器，其中，所述支承销中的至少一个的热导率是0.3W/mK或更小，

其中，所述电力的电压电平是基于所述热导率的，以及

其中，所述电力的所述电压电平配置成随着所述热导率的增加而增加。

8.根据权利要求3所述的真空干燥器，其中，所述电源包括：

电力生成电路，配置成生成所述电力；以及

开关电路，配置成响应于第一控制信号将所述电力生成电路的输出端子联接到所述支承销，

其中，所述开关电路配置成响应于第二控制信号将所述支承销联接到地，

其中，所述开关电路配置成在所述内部空间被减压之前将所述支承销联接到所述地，以及

其中，所述开关电路配置成在所述内部空间被减压时将所述电源的所述输出端子联接到所述支承销。

9.根据权利要求8所述的真空干燥器，

其中，当通过来自所述电源的所述电力而使所述支承销中的每个通电时，所述光刻胶在所述衬底的第一区域中的厚度变得大于所述光刻胶在所述衬底的第二区域中的厚度，所述衬底的所述第一区域与所述支承销中的一个重叠，并且所述衬底的所述第二区域与所述支承销间隔开，以及

其中，当所述内部空间被减压时，所述光刻胶在所述第一区域中的所述厚度减小成与所述光刻胶在所述第二区域中的所述厚度相同。

10.根据权利要求1所述的真空干燥器，还包括：

支承板，处于所述腔室的基板之上；以及

升降器，联接到所述支承板并且配置成调节所述支承板在所述内部空间中的高度，以及

其中，所述支承销分布在所述支承板上，

其中，所述支承销通过所述支承板中的电力线彼此电联接，或者

所述支承销彼此独立地联接到所述电源。