[发明专利]纳米结构阵列及其制备方法和含其的色散仪在审
| 申请号： | 202010220884.7 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111239077A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 史丽娜;尚潇;牛洁斌;李龙杰;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01J3/12;B82B1/00;B82B3/00;B82Y40/00;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米结构阵列及其制备方法和含其的色散仪，该纳米结构阵列包括衬底，起支撑作用；设置在衬底上的若干纳米结构，若干纳米结构形成阵列，用于接收入射光并根据入射光频率不同将复色光分解成单色光；以及金属掩膜层，其覆盖在所述圆柱纳米结构的顶部，用于提高反射率。本发明通过电子束光刻和电子束蒸发沉积方法形成圆柱周期阵列，精度高；与传统的半导体工艺兼容，易于集成；采用圆柱纳米阵列结构激发米氏共振，根据折射率的变化，同时可以观察样品变化带来的结构色的变化，易于观察，且绿色环保。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 结构 阵列 及其 制备 方法 色散 | ||
【主权项】：
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