[发明专利]掩模夹持模块及掩模拉伸装置有效
| 申请号： | 202010197042.4 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113493891B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 耿鹏飞;张洪博;孙启峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置，掩模夹持模块包括掩膜夹持单元和重力补偿单元。所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。如此配置，重力补偿单元能够对掩膜夹持单元的重力产生的扭矩进行补偿，避免因掩膜夹持单元受重力而产生垂向形变，从而避免了掩膜夹持单元和其夹持的掩膜发生垂向运动，提高了夹持和拉伸的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 模块 拉伸 装置 | ||
【主权项】：
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