[发明专利]掩模夹持模块及掩模拉伸装置

说明书

本发明提供一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置，掩模夹持模块包括掩膜夹持单元和重力补偿单元。所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。如此配置，重力补偿单元能够对掩膜夹持单元的重力产生的扭矩进行补偿，避免因掩膜夹持单元受重力而产生垂向形变，从而避免了掩膜夹持单元和其夹持的掩膜发生垂向运动，提高了夹持和拉伸的精度。

技术领域

本发明涉及半导体及显示器制造设备技术领域，特别涉及一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode)显示器在生产时主要通过蒸镀方式将有机发光材料按照预定程序蒸镀到显示背板上，一般利用掩模上的图形，使得各种颜色的材料蒸镀到相应的位置上。在掩模制作的过程中，需在掩模两端施加拉力对掩模进行拉伸后焊接在金属框架上，以便用于蒸镀。

掩模在被其载体固定过程中产生的变形误差直接影响了平板显示装置制作的好坏。现有的机械夹紧式固定装置在夹持过程中，各夹持单元向后运动因受到重力等因素而产生扭矩，或者因位移不一致或产生垂向位移，又或者夹持后的掩模板形状发生变化，如倾斜和拱形，引起夹持面接触不均匀，间接影响掩模板的拉伸精度。对于精度要求较高的应用于平板显示装置制造领域的掩模来讲，倾斜和拱形形状很难修复，甚至引起掩模板报废。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置，以解决现有技术中夹持精度易受影响的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种掩模夹持模块，其包括：掩模夹持单元及重力补偿单元；

所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述重力补偿单元设置于所述掩模夹持单元的下方，所述重力补偿单元包括推力发生装置，所述推力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向上的推力，所述补偿力包括所述推力。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述重力补偿单元还包括预压力发生装置，所述预压力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向下的吸引力；所述补偿力包括所述推力与所述吸引力之差。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述预压力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第一磁力件，另一个包括第一吸引件，所述第一磁力件与所述第一吸引件相对间隔设置；所述第一磁力件用于产生对所述第一吸引件的吸引磁力，所述吸引磁力被配置为所述吸引力。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述第一磁力件包括永磁体和/或电磁铁；所述第一吸引件包括铁磁体金属和/或永磁体。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述预压力发生装置包括抽气装置，所述抽气装置用于朝向所述掩模夹持单元抽气，以产生所述吸引力。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述推力发生装置包括气浮发生装置，所述气浮发生装置用于向所述掩模夹持单元喷射气体，以产生所述推力。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述推力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第二磁力件，另一个包括斥力件，所述第二磁力件与所述斥力件相对间隔设置，所述第二磁力件用于产生对所述斥力件的排斥磁力，所述排斥磁力被配置为所述推力。

可选的，在所述掩模夹持模块中，所述重力补偿单元设置于所述掩模夹持单元的上方，所述重力补偿单元包括拉力发生装置，所述拉力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向上的拉力，所述补偿力包括所述拉力。