[发明专利]一种氧化锌基合金薄膜、紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种氧化锌基合金薄膜，所述氧化锌基合金薄膜中，ZnO和合金元素氧化物的质量比为(5～1000)：1；所述氧化锌基合金薄膜的光吸收截止边为390～410nm。本发明得到的氧化锌基合金薄膜具有结晶质量高，不出现分相，光吸收截止边陡峭，截止边在400nm附近等特点。本发明使用MOCVD生长设备，通过调控生长条件，制备了该氧化锌基合金薄膜，具有设备简单，反应过程容易控制。操作方便，所需时间短等特点，在探测紫外线方面有了更广泛的潜在应用，有望产生良好的社会和经济效益。本发明还提供了一种紫外探测器，通过特定的层结构和组成进行配合，其光吸收截止边位于400nm附近，具有较高的响应度。