[发明专利]一种磁共溅射法制备的金属过滤膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010188354.9 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111359447A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王强;刘少华 | 申请（专利权）人： | 广州康滤净化科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D67/00 | 分类号： | B01D67/00;B01D71/04;C23C14/35;C23C14/14;B01D46/54;C02F1/44;C02F101/20 |
| 代理公司： | 上海尚象专利代理有限公司 31335 | 代理人： | 刘云 |
| 地址： | 511400 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁共溅射法制备的金属过滤膜及其制备方法，该方法包含：步骤1，采用磁控溅射镀膜机，打开设备电源，并打开冷却水、空压机，打开放气阀，待无气压声时打开真空室门，将玻璃样品安放在靶台，关闭真空室门，关闭放气阀，打开机械泵控制电源，打开旁抽阀抽真空；步骤2，关闭旁抽阀，打开前级泵，打开分子泵电源，逐渐打开翻板阀，抽真空；步骤3，打开氩气瓶和控制阀，调节流量，调节真空室气压，打靶台挡板开直流电源开关，调节功率后出现辉光，打开样品板开始溅射；步骤4，溅射一段时间后，停止溅射，逐项关闭各处阀门，取出金属薄膜。本发明制备的金属过滤膜能够去除空气中的PM2.5及水中重金属等杂质，保护人体健康。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 法制 金属 滤膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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