[发明专利]一种薄膜封装结构及薄膜封装方法在审
申请号: | 202010182821.7 | 申请日: | 2020-03-16 |
公开(公告)号: | CN111446380A | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 齐梦轲;王浩;李建 | 申请(专利权)人: | 齐梦轲 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 234000 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及封装结构及封装方法技术领域,具体涉及一种薄膜封装结构及薄膜封装方法,该无薄膜封装结构包括基层薄膜、主层薄膜、阻隔膜和聚合物膜;所述基层薄膜覆盖在面板上,基层薄膜上设有主层薄膜;所述主层薄膜上设有阻隔膜;所述聚合物膜层通过涂覆固化处理附着在阻隔膜上;由于成膜腔中的残留有基层薄膜覆膜过程中未反应完全的物质,使得后续覆膜物的纯度受到干扰,降低了后续的薄膜封装质量;故此,本发明通过设置在成膜腔中的集气槽,通过集气槽将前一阶段覆膜的气体成分吸收干净,避免了对供气管在提供后续覆膜气体时的纯度影响,保护了每一阶段薄膜覆膜反应的纯度,从而提升了薄膜封装结构的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
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