[发明专利]一种清洗装置有效
| 申请号： | 202010182719.7 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111359971B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 朱朝月;杨硕;杨斌;张孟湜 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种清洗装置。该清洗装置包括：清洗槽和支撑件，清洗槽包括至少一组第一进液口组和/或一组第二进液口组；支撑件位于清洗槽中，支撑件用于支撑固定掩膜版且使掩膜版的待清洗面与清洗槽的槽底垂直；其中，每组第一进液口组包括两个第一进液口，在掩膜版固定于支撑件上时，在每组第一进液口组中，两个第一进液口分别位于掩膜版的两对侧，且两个第一进液口间的连线与待清洗面垂直；和/或第二进液口组包括至少一个第二进液口，在掩膜版固定于支撑件上时，各第二进液口与其相对的掩膜版的外框在清洗槽上的正投影相交叠。本发明实施例提供的技术方案可以降低掩膜版平面所受法向冲击力，从而避免掩膜版发生褶皱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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