[发明专利]一种环形剪切压电加速度传感器结构及其制作方法在审
| 申请号： | 202010181997.0 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111366752A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陶彦博;杨君;芦维宁;陈章;梁斌 | 申请（专利权）人： | 深圳华清精密科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;H01L41/053;H01L41/22 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 黄文锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环形剪切压电加速度传感器结构及其制作方法，该环形剪切压电加速度传感器结构包括有一底座、一圆环体状的形状记忆合金和至少一压电晶体，所述底座的顶面中央处形成有一垂直于所述底座的安装柱，所述安装柱与底座连接处形成有限位结构；所述形状记忆合金外套于所述安装柱上，所述安装柱的外表面与形状记忆合金的内表面之间形成有间隙；所述压电晶体设置于所述安装柱与形状记忆合金之间，压电晶体的内表面和外表面均为圆弧面，所述压电晶体的内表面与所述安装柱的外表面贴合，所述压电晶体的外表面与所述形状记忆合金的内表面贴合，利用形状记忆合金受力收缩将压电晶体紧固在所述安装柱上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 剪切 压电 加速度 传感器 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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