[发明专利]一种MEMS图像传感器像元在审
| 申请号： | 202010179500.1 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111220280A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 巨锦华;林晓东 | 申请（专利权）人： | 中科微机电技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100085 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS图像传感器像元，包括衬底、桥墩、桥面和桥臂，桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，所述桥臂的横截面呈周期性曲折状。本发明将桥臂的横截面设计成周期性曲折状，可以在有限的空间内，更大限度的延长桥臂，从而减小热导，提升NETD指标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 图像传感器 | ||
【主权项】：
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