[发明专利]一种双探针的纳米测量仪器在审
申请号: | 202010177815.2 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN111238373A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 苏全民;陈庚亮 | 申请(专利权)人: | 深圳明锐仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人: | 戴丽伟 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种双探针的纳米测量仪器,包括测量器主体;所述测量器主体的前端设有第一探针、第二探针;所述第一探针用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号;所述第二探针用于探测被测物体的附近环境的干扰信号;本发明的有益效果在于:本设计采用了双探针,一个探针探测外部环境干扰下的被测物体的信号,另一个探测被测物体的附近环境的干扰信号,通过计算出两个信号数值,最后两个数值相减,得到的数值就是被测物体的数值;让纳米测量系统省去了传统的封闭坏镜设备,且能够测量大型的被测物体。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 纳米 测量 仪器 | ||
【主权项】:
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