[发明专利]一种双探针的纳米测量仪器

权利要求书

1.一种双探针的纳米测量仪器，包括测量器主体(10)；其特征在于，所述测量器主体(10)的前端设有第一探针(11)、第二探针(12)；所述第一探针(11)用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号；所述第二探针(12)用于探测被测物体附近环境的干扰信号。

2.根据权利要求1所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一探针(11)设有第一针尖(111)、第一物理解码(112)；所述第二探针(12)设有第二针尖(121)、第二物理解码(122)。

3.根据权利要求2所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一针尖(111)的尖端曲率半径为纳米尺度量级，所述第二针尖(121)的尖端曲率半径比第一针尖(111)的尖端曲率半径要大，且所述第二针尖(121)的尖端曲率半径为1微米以上。

4.根据权利要求3所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一物理解码(112)为一排可用于反射光信号的栅格；同理，所述第二物理解码(122)为一排可用于反射光信号的栅格。

5.根据权利要求4所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一物理解码(112)的栅格距离为685纳米；所述第二物理解码(122)的栅格距离为1微米。

6.根据权利要求5所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一针尖(111)用于探测时，使第一物理解码(112)反射光信号，且其信号为环境干扰下的被测物体的信号；同理，所述第二针尖(121)探测时，使第二物理解码(122)反射光信号，且其信号为被测物体的附近环境的干扰信号。

7.根据权利要求1所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述测量器主体(10)用于安装在纳米测量系统上。

8.根据权利要求3所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第二针尖(121)的曲率半径作用空间可通过静电力场，空气阻尼力场等物理现象实现。