[发明专利]金属-绝缘层-金属电容器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010173258.7 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN113394341A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 黄柏伟;康峻维;赖和裕;张志圣 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02;H01L23/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属‑绝缘层‑金属电容器及其制作方法，其中该金属‑绝缘层‑金属电容器包括：基材、第一金属层、沉积结构、介电层以及第二金属层。第一金属层具有一平坦化表面。沉积结构位于第一金属层之上，且至少一部分延伸进入平坦化表面中，其中第一金属层与沉积结构具有相同材料。介电层位于沉积结构上方。第二金属层位于介电层之上。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 绝缘 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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