[发明专利]一种可用于多谱段主动光学调控的硫系相变薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010164514.6 申请日: 2020-03-11
公开(公告)号: CN111399255A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 张斌;杨泽林;李朝晖;曾平羊;夏迪;吴家越;孙耀东;宋景翠;朱莺 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: G02F1/01 分类号: G02F1/01;G02F1/00;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/58
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 王晓玲
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种可用于多谱段主动光学调控的硫系相变薄膜及制备方法,属于光学薄膜和光学相变材料领域。本发明所述相变薄膜组分化学式为SbxS100‑x,20x50;本发明所述的光学薄膜采用高真空快速热沉积法进行制备获得非晶态高品质光学薄膜。该薄膜在外场的热作用下,可在高折射率(非晶态)和低折射率(晶态)之间进行可逆转变。该材料薄膜在0.55‑25μm范围内晶态和非晶态可以折射率有明显的差异,透光性良好,可用于制备多谱段光场主动调控器件,有利于实现传统光场调控器件集成化、小型化和多功能化发展要求。
搜索关键词: 一种 用于 多谱段 主动 光学 调控 相变 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学,未经中山大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010164514.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top