[发明专利]浓度控制装置、原料消耗量推定方法以及程序存储介质

摘要

用于提供在不增设新的传感器等的情况下，准确地推定汽化罐内的原料的消耗量，且能够进行与原料的剩余量对应的高精度的浓度控制的浓度控制装置，其在汽化器中对原料气体的浓度进行控制，汽化器至少具备：容纳液体或固体的原料的汽化罐、向汽化罐供给载气的载气供给通路、以及供由原料汽化而从汽化罐导出的原料气体流通的原料气体导出通路，浓度控制装置具备：浓度监测器，其设置于原料气体导出通路，输出与原料气体的浓度对应的输出信号；浓度计算部，其基于来自浓度监测器的输出信号，来计算原料气体的浓度；以及原料消耗量计算器，其基于计算浓度和载气的流量，来计算作为原料气体而导出到原料气体导出通路的原料的消耗量。