[发明专利]MEMS谐振器信号读出装置及方法在审
| 申请号： | 202010149184.3 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111277239A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 李崇;王雨晨;董萌萌;董宇航 | 申请（专利权）人： | 尚同电子科技（淄博）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/46 | 分类号： | H03H9/46 |
| 代理公司： | 青岛锦佳专利代理事务所(普通合伙) 37283 | 代理人： | 朱玉建 |
| 地址： | 255300 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于MEMS谐振器技术领域，具体公开了一种MEMS谐振器信号读出装置及方法。其中，所述装置基于模拟电路方案或数字化处理方案实现，以上两种方案均在装置的前端对低频噪声和高频噪声进行及时、有效地处理，避免噪声叠加在后级电路上，利于提升装置的信噪比。另外，基于模拟电路方案实现的信号读出装置器件功耗普遍较低，能够压低信号读出装置整体的功耗，适用于功耗要求较高的场合；此外，模拟器件所产生的电磁干扰较少，适用于电磁兼容性要求较高的领域；谐振器通过模拟电路进行驱动，能够达到较高的谐振频带宽度，适用于对谐振器输出带宽要求较高的场合。基于数字化处理方案实现的信号读出装置，对环境敏感度较低，适用于恶劣环境下运行。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 信号 读出 装置 方法 | ||
【主权项】：
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