[发明专利]排气管装置

摘要

本发明涉及排气管装置。根据一个实施例的排气管装置包括：管体；电介质，所述电介质形成为环状并沿着所述管体的内壁设置；形成为环状的内部电极，所述内部电极沿着所述电介质的内壁设置而留出所述电介质的内壁表面的一部分，并且构造成露出所述电介质的内壁表面的所述部分而不设置在所述管体的中心侧；和等离子体产生回路，所述等离子体产生回路构造成使用所述内部电极在所述电介质的露出表面上产生等离子体，其中，所述排气管装置用作设置在成膜室与用于对所述成膜室的内部进行排气的真空泵之间的排气管的一部分。