[发明专利]一种磁电阻微区形貌传感器有效
| 申请号： | 202010143948.8 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111259865B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 祁彬;薛松生 | 申请（专利权）人： | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号： | G06V40/13 | 分类号： | G06V40/13;G01B7/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215634 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种磁电阻微区形貌传感器，包括硅基板、至少一个磁阻探测阵列以及多个力传导结构，磁阻探测阵列设置于硅基板的第一表面，每个磁阻探测阵列包括多个探测区域，每个探测区域内设置多个磁阻敏感元件，磁阻敏感元件的等效磁矩方向平行或垂直于第一表面，力传导结构设置于磁阻探测阵列远离硅基板的一侧，每个力传导结构覆盖至少一个磁阻敏感元件。该磁电阻微区形貌传感器具有高分辨率、高灵敏度以及良好的防伪性和静电放电抗性，适合多种测量环境，多种指纹质量的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁电 阻微区 形貌 传感器 | ||
【主权项】：
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