[发明专利]一种具有防沉积结构的薄膜传感器在审
| 申请号： | 202010140008.3 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111215245A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张心强;陈林 | 申请（专利权）人： | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | B03C3/40 | 分类号： | B03C3/40;B03C3/34;G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 637000 四川省南充市顺庆*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，属于薄膜传感器技术领域，包括：传感器本体，具有用于与待测腔连通的入口管；静电吸附装置，设置在所述入口管处，以适于在所述入口管处形成静电吸附场；本发明的薄膜传感器，在传感器入口管处设置静电吸附装置，通过静电吸附原理，可以在保证待测腔与传感器膜片完全无阻挡连通的情况下，将污染物或者颗粒物吸附到入口管壁上，从而防止膜片污染，产生零点漂移；因此，既能有效的防止颗粒物沉积到薄膜上，又能精确测量待测腔体的真实压力值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 沉积 结构 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
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