[发明专利]一种有源矩阵有机发光二极体显示器用阳极蚀刻液有效
| 申请号： | 202010138912.0 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111423883B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 张春合 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有源矩阵有机发光二极体显示器用阳极蚀刻液，包括磷酸、醋酸、硝酸、表面活性剂、金属抑制剂、保护剂和水，上述蚀刻液的原料按重量百分比计算，磷酸含量为60～70％，醋酸含量为15～30％，硝酸含量为2～5％，表面活性剂含量为0.3～5％，金属抑制剂含量为0.1～5％，保护剂含量为0.1～5％，各组分重量百分比之和为100％，所述蚀刻液的PH值为1～2.5；所述金属抑制剂为钼酸盐、琥珀酸、柠檬酸、琥珀酸盐、聚环氧琥珀酸、苯并三氮唑钠盐、苯并三氮唑、有机胺、羧甲基菊粉、丙烯酰胺、亚甲基丙烯酰胺中的一种或几种的混合物。本发明提供一种腐蚀均匀、不同膜层之间腐蚀速率可控，性能稳定的蚀刻液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有源 矩阵 有机 发光 二极体 显示 器用 阳极 蚀刻 | ||
【主权项】：
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