[发明专利]芯片式原位透射电镜的样品转移方法有效
| 申请号： | 202010137518.5 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113340926B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 刘效治;张庆华;时金安;谷林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20025 | 分类号： | G01N23/20025;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临;冯玉清 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种芯片式原位透射电镜的样品转移方法，包括：利用溶剂将颗粒样品分散为悬浮液，在电镜微栅上滴若干滴悬浮液并烘干，得到微栅样品；将微栅样品放入聚焦离子束仪器FIB中，挑选样品并转移至FIB专用载网上，并使用离子束将样品的一部分减薄，获得载网样品；将载网样品放入透射电子显微镜TEM中，观察载网样品中被减薄的部分，测量载网样品晶带轴相对于实际观察方向的偏转角度α和β；从TEM中取出载网样品，调整载网相对于透射电镜样品杆的面内旋转角度，使载网样品的晶带轴跟着旋转，直到其相对于TEM光轴只剩下偏转角度α；将载网样品转移到FIB中，并利用样品台倾转补偿偏转角度α，将载网样品转移至原位芯片指定位置。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 原位 透射 样品 转移 方法 | ||
【主权项】：
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