[发明专利]掩膜版有效
| 申请号： | 202010131250.4 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111304585B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 古春笑;赵坤;张帅 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版。掩膜版包括至少一条掩膜条；掩膜条包括蒸镀区和遮挡区；蒸镀区具有多个开口；沿第一方向，遮挡区设置于各开口的两侧；其中，第一方向为掩膜条的长度方向；遮挡区包括至少一个热缩区；热缩区包括热缩材料。在掩膜条焊接至掩膜版框架上时，热缩区的热缩材料受热晶格缩小，从而产生热缩现象。热缩区的热缩现象对掩膜条的遮挡区施加热缩拉力，带动遮挡区张紧，进而使掩膜条进一步张紧，从而可以减小掩膜条因重力出现的下垂现象，同时可以减小掩膜条上的褶皱，提高了在蒸镀时，掩膜版与待蒸镀基板的贴合效果，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010131250.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
