[发明专利]一种实现外延材料深亚波长光子模式体积的平面漏斗微腔有效
| 申请号： | 202010126419.7 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111190245B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周靖;兰梦珂;储泽世;代旭;余宇;郭尚坤;邓杰;陈效双;蔡清元;李方哲;嵇兆煜;布勇浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现外延材料深亚波长光子模式体积的平面漏斗微腔，其结构包括金属反射薄膜层、外延材料层、平面漏斗形天线层。在平面光入射下，两层金属表面的等离激元模式耦合在一起，形成等离激元波导模式，在上、下金属之间的外延材料层中传播，基于微腔共振模式以及金属尖端效应获得尖端之下的外延材料中形成深亚波长尺度的局域强光场。利用外延材料的去衬底技术能够实现外延材料与该平面漏斗形等离激元微腔的完美集成，通过刻蚀形成物理反射界面，使体系逼近临界耦合状态，能够大幅局域光子模式耦合效率。该微腔结构有助于实现深亚波长尺度的局域光子模式及局域强光场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 外延 材料 波长 光子 模式 体积 平面 漏斗 | ||
【主权项】：
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