[发明专利]发光元件及其制造方法在审
申请号: | 202010122844.9 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN111430511A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 邱柏顺;郭得山;杨治政;黄俊儒;李建辉;陈英杰;林资津 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/78;H01L33/22;B23K26/38 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种发光元件及其制造方法,其方法包含提供一发光二极管晶片,包含一基板以及一半导体叠层位于基板上,其中半导体叠层包含一第一半导体层、一活性层、一第二半导体层、一下表面面对基板以及一上表面相对于下表面;移除部分区域的第二半导体层及活性层,并暴露出第一半导体层,以形成多个平台;提供一第一激光光束自上表面照射半导体叠层,以在多个平台表面形成多条切割线,其中多条切割线由多个平台往下延伸;以一湿式蚀刻制作工艺清洁发光二极管晶片;形成一电极在半导体叠层上;提供一第二激光光束聚焦基板内部,在基板中形成一或多条粗化痕;以及分离发光二极管晶片形成多个发光二极管管芯。 | ||
搜索关键词: | 发光 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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