[发明专利]一种利用扫描电镜原位测试生长于涂层表面的纳米材料柔性的方法有效
| 申请号： | 202010121348.1 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111272543B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 魏大庆;杜青;邹永纯;郭舒;张宝友;来忠红 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/06 | 分类号： | G01N3/06;G01N23/2251;G01Q30/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种利用扫描电镜原位测试生长于涂层表面的纳米材料柔性的方法，本发明涉及测试纳米材料柔性的方法。本发明要解决现有纳米材料力学性能的测试及表征需要分散、转移和固定等程序，无法实现对原位生长的纳米材料进行原位加载、实时观察及施加不同应力状态的问题。方法：一、置于FIB‑SEM双束系统中；二、插入改进后的探针，调整改进后的探针移动到定位的纳米材料所在区域；三、激活离子束窗口，调整改进后的探针端部与电子束镜头在同一高度上；四、在电子束窗口下，使得改进后的探针在定位的纳米材料上施加作用力，使纳米材料发生变形。本发明适用于利用扫描电镜原位测试生长于涂层表面的纳米材料的柔性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 扫描电镜 原位 测试 生长 涂层 表面 纳米 材料 柔性 方法 | ||
【主权项】：
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