[发明专利]用于处理基板的装置和方法

摘要

基板处理装置包括处理模块和索引模块，在所述索引模块上放置有盒子，所述盒子具有在其内部接收的所述基板；并且所述索引模块包括索引机械手，其在所述盒子和所述处理模块之间传送所述基板。处理模块包括工艺腔室和传送腔室。工艺腔室包括支承单元。所述支承单元包括：支承件，其上放置有所述基板；和环形构件，其围绕放置在所述支承件上的所述基板，并设置成与所述支承件为可分离的。所述装置还包括存储载体的载体存储单元，所述载体安装在所述主传送机械手或索引机械手的手上，并且当所述环形构件由所述主传送机械手或索引机械手传送时，环形构件放置在所述载体上。