[发明专利]定向耦合器及基于氮化硅平台的光开关有效
| 申请号： | 202010102717.2 | 申请日： | 2020-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111290191B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 杨忠华;崔乃迪;杨明祥;梁宇鑫;冯靖;李智慧;廖海军;陈仙;冯俊波;郭进 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/313 | 分类号： | G02F1/313 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 罗庆 |
| 地址： | 400030 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种定向耦合器及基于氮化硅平台的光开关，所述定向耦合器包括耦合器本体和设置在所述耦合器本体上的至少两个氮化硅波导，所述耦合器本体包括由电光材料构成的可调波导和为所述可调波导提供电场环境的电极组，所述至少两个氮化硅波导被所述可调波导间隔设置于耦合器本体的同一侧；所述光开关包括至少一个输入波导、至少两个输出波导和定向耦合器，所述至少一个输入波导连接一个氮化硅波导的输入端，每个所述输出波导对应连接一个氮化硅波导的输出端。本发明提出的基于氮化硅平台的光开关采用的定向耦合器结构使其具有开关速度快、性能稳定、尺寸小、工艺简单，能够与COMS工艺兼容的优点，有利于实现大规模光开关阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 定向耦合器 基于 氮化 平台 开关 | ||
【主权项】：
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