[发明专利]低温等离子体发生器以及包括其的多功能低温等离子体阵列装置有效
申请号: | 202010087389.3 | 申请日: | 2020-02-11 |
公开(公告)号: | CN111163579B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 李根浩;奥利弗·波斯特尔 | 申请(专利权)人: | PSM株式会社 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 山东三邦知识产权代理事务所(普通合伙) 37308 | 代理人: | 肖太升;高洋 |
地址: | 韩国京畿道城南市中院区四季末*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种以如下内容为特征的低温等离子体发生器以及包括其的多功能低温等离子体阵列装置,可以有效点燃低温等离子体(初期放电),易于匹配公共阻抗,进一步,在多元等离子体阵列结构中,可以通过单电源,为多个等离子体源均匀地分配功率,增大有效等离子体体积,最适合杀菌处理相关用途。 | ||
搜索关键词: | 低温 等离子体 发生器 以及 包括 多功能 阵列 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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