[发明专利]低温等离子体发生器以及包括其的多功能低温等离子体阵列装置

说明书

本发明涉及一种以如下内容为特征的低温等离子体发生器以及包括其的多功能低温等离子体阵列装置，可以有效点燃低温等离子体(初期放电)，易于匹配公共阻抗，进一步，在多元等离子体阵列结构中，可以通过单电源，为多个等离子体源均匀地分配功率，增大有效等离子体体积，最适合杀菌处理相关用途。

技术领域

本发明涉及一种低温等离子体发生器以及包括其的多功能低温等离子体阵列装置，更具体地，涉及一种以如下内容为特征的低温等离子体发生器以及包括其的多功能低温等离子体阵列装置，其特征在于：可以有效点燃低温等离子体(初期放电)，易于匹配公共阻抗，进一步，在多元等离子体阵列结构中，可以通过单电源，为多个等离子体源均匀地分配功率，增大有效等离子体体积，最适合杀菌处理相关用途。

背景技术

等离子体广泛应用于半导体、显示元件、各种部件的表面处理等，正在进一步扩大其应用性，定位成用于生命工程研究、医疗、空气净化、焚烧炉等的整合性技术领域。

即，通常的等离子体发生器是两侧电极被施加高频率或高电压时，使两侧电极之间的气体分子分离成正离子和电子的装置，该两侧电极可以设置在真空状态，也可以设置在空气中。该等离子体发生器正在适用于半导体、PCB、新材料合成、高分子的表面处理、金属的表面处理、环境净化、医疗器械、食品的杀菌及消毒技术等，其使用领域正在逐渐扩大。

特别是，领域正在扩大到美白牙齿、消灭癌细胞、加快血凝速度等的医疗行业，以往主要使用激光，其弊端在于：热损伤会引起烫伤，并且，由于激光半径小，治疗面积大时，无法均匀治疗。但是，等离子体不会发生热损伤，等离子体发生器可以均匀有效地进行大面积治疗。

据报道，等离子体发生的紫外线(UV)、臭氧等的氧自由基、一氧化氮等的氮氧化物、电流和带电粒子分别在人体治疗中，具有细胞免疫增强、杀菌、杀死癌细胞、加快血液循环等效果。

如此，医疗用等离子体发生器向人体直接照射等离子体，因此，需要具有稳定性。

例如，需要防范为发生等离子体施加的高电压漏电时引起的触电事故。需要易于调整等离子体的照射量，以便于防范人体损伤，或者需要易于调整等离子体的排放量，以便于增加等离子体的照射量，烧出需要的组织而用于外科治疗。

并且，需要具备易于用户操作等离子体发生器的使用便利性以及小型化特点。特别是，为了将等离子体发生器适用于特定杀菌处理，必须具备小型化以及易于调整等离子体排放量的特点。

但是，传统等离子体发生器的弊端在于：在发生等离子时，需要高电压，因此，绝缘有难度。另外，为了用于杀菌处理或细胞处理等医疗用途，需要用低功率获得等离子体，因此，在初期放电的有效点燃和阻抗的匹配方面，存在很大的局限性。

【先行技术文献】

【专利文献】

(专利文献0001)大韩民国注册专利公报10-0736218(2007.07.06.公告

(专利文献0002)大韩民国注册专利公报10-0786537(2007.12.18.公告

(专利文献0003)大韩民国注册专利公报10-1740821(2017.05.26.公告

(专利文献0004)大韩民国注册专利公报10-1940012(2019.01.18.公告

(专利文献0005)大韩民国公开专利公报10-2019-0035052(2019.04.03.公开

发明内容

所要解决的课题

为了解决传统技术的上述弊端，本发明提供一种有效点燃等离子体并易于匹配公共阻抗的低温等离子体发生器。