[发明专利]一种电压分段式的电场辅助离子迁移连续制作掩埋式光波导的方法有效
| 申请号： | 202010083821.1 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111239894B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;牛梦华;蒋建光;邓鑫宸;车录锋;周柯江 | 申请（专利权）人： | 芜湖佳豪电子有限公司;浙江大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/134;G02B6/122;C03C21/00 |
| 代理公司： | 深圳众邦专利代理有限公司 44545 | 代理人： | 肖琴 |
| 地址： | 241300 安徽省芜湖市南陵*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉，炉内有传送带和坩埚；坩埚内有熔盐，且熔盐内部设置通过导线接地的负电极；玻璃基片和石英管组成的底部密闭腔置于石英花篮中，腔内有熔盐，石英花篮悬挂于传送带上且玻璃基片浸入坩埚内的熔盐中；底部密闭腔中设置正电极，正电极与石英花篮相对位置固定，且通过电极引线搭上正电极滑竿，并可沿正电极滑竿滑动；正电极滑竿由通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成，多段正电极滑轨分别连接不同的直流电源正极。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上，还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电压 段式 电场 辅助 离子 迁移 连续 制作 掩埋 波导 方法 | ||
【主权项】：
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