[发明专利]一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法在审
| 申请号： | 202010083632.4 | 申请日： | 2020-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN111239898A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;邓鑫宸;蒋建光;牛梦华;周柯江;车录锋 | 申请（专利权）人： | 浙江大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;G02B6/14;G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有槽热板温度梯度离子扩散制作玻璃基掩埋式模斑转换器的方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8)；第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于：将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区(8)的玻璃基片(1)竖直放置在水平有槽热板(5)上的凹槽内进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片(1)内沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向的温度梯度，使玻璃基片(1)中沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，增大玻璃基片(1)表面以下的掩埋条形离子掺杂区(8)在贴近有槽热板(5)一端的横截面尺寸，将掩埋条形离子掺杂区(8)变成掩埋锥形离子掺杂区(9)。这种掩埋锥形离子掺杂区(9)的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有槽热板 温度梯度 离子 扩散 制作 玻璃 掩埋 式模斑 转换器 方法 | ||
【主权项】：
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