[发明专利]激光加工装置和激光加工方法在审
| 申请号: | 202010082444.X | 申请日: | 2020-02-07 |
| 公开(公告)号: | CN111730220A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
| 发明(设计)人: | 坂本淳;二穴胜;佐藤武史;武川裕亮 | 申请(专利权)人: | 维亚机械株式会社 |
| 主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/40;B23K26/402;B23K26/06;B23K26/0622 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘茜璐;闫小龙 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及激光加工装置和激光加工方法。本发明的目的在于,在包括为了加工所需的能量不同的层的基板的多个位置使用激光利用穿孔加工进行开孔的情况下使控制变得容易、缩短加工时间并且确保加工品质。在具有在与所述二维方向相同的平面中的二维方向上偏转从第一激光偏转部出射的激光脉冲并且工作比所述第一激光偏转部慢的第二激光偏转部的激光加工装置中,其特征在于,通过所述第一激光偏转部在所述加工位置的每一个中依次连续地将激光脉冲照射到沿着规定的轨道的多处,此外使从所述第一激光偏转部出射的激光脉冲的能量在重复所述规定的轨道中的照射的中途发生变化,在所述加工位置的每一个中利用向所述多处的连续照射来完成加工。 | ||
| 搜索关键词: | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
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