[发明专利]多晶硅制造装置以及多晶硅在审
| 申请号： | 202010079430.2 | 申请日： | 2020-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN111560650A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 冈田哲郎;星野成大;石田昌彦 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种通过西门子法制造多晶硅的装置，其具备芯线保持器(14)，其中，芯线保持器(14)的下端侧与向芯线保持器(14)通电的电极部(10)的顶部(18)接触，进一步，设置有固定部(17)，其从芯线保持器(14)的下端侧向下方延伸，用于将芯线保持器(14)固定至电极部(10)，其中，固定部(17)的下端部构成螺纹连接部(17a)，该螺纹连接部(17a)位于芯线保持器(14)与电极部(10)的顶部接触的表面的下方。芯线保持器(14)的下端侧与电极部(10)的顶部(18)接触的表面的电阻被设计成低于紧固螺纹连接部(17a)的部位的电阻。通过该装置能够提供一种避免电极的损坏或硅棒的污染的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 装置 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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