[发明专利]具有用于形成合成反铁磁体的非磁性间隔件层的Heusler化合物在审

专利信息
申请号: 202010078380.6 申请日: 2020-02-03
公开(公告)号: CN111554807A 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 郑在佑;斯图尔特·S·P·帕金;希拉格·加尔各;马赫什·G·萨曼特;帕纳约蒂斯·哈里劳斯·菲利波;亚里·费兰特 申请(专利权)人: 三星电子株式会社;国际商业机器公司
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12;G11C11/16
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 赵南;张青
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 描述了包括多层结构的器件,所述多层结构包括三层。第一层为磁性Heusler化合物,第二层(用作间隔件层)在室温下为非磁性的,并且包括Ru和至少一种其它元素E(优选地:Al;或者Ga或Al与Ga、Ge、Sn或它们的组合的合金)的交替层,并且第三层也为磁性Heusler化合物。第二层的成分表示为Ru1‑xEx,x在从0.45至0.55的范围内。MRAM元件可通过依次形成衬底、所述多层结构、隧道势垒和额外磁层(其磁矩可切换)而构成。
搜索关键词: 具有 用于 形成 合成 磁体 磁性 间隔 heusler 化合物
【主权项】:
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